A microwave induced coaxial surface wave discharge with a feeding gas mixture of oxygen and hexamethyldisiloxane used for the deposition of polymer coatings is numerically analysed by a volume-averaged zero-dimensional modelling formalism. A set of edge-to-center ratios are analytically estimated for a self-consistent description of the positive ion and reactive neutral flux at the radial walls [Kemaneci et al 2017 J. Phys. D: Appl. Phys. 50(24):245203]. The simulation results are compared with the measurements of a wide variety of distinct particle concentrations as well as of the electron temperature and an agreement is obtained with respect to the input power, the pressure and the oxygen to hexamethyldisiloxane flow ratios.a#13; The net charge density is dominated by Sialt;subagt;2alt;/subagt;OCalt;subagt;5alt;/subagt;Halt;subagt;15alt;/subagt;alt;supagt;+alt;/supagt; with a negligible degree of electronegativity. Hexamethyldisiloxane is fragmented into methyl radical via the electron impact dissociation and the dissociative ionization. Large amounts of hydrocarbons, water, carbon monoxide, carbon dioxide and hydrogen molecules are produced. A significant portion of the net hydrocarbon and carbon monoxide production rates is formed by the emission from the solid surfaces due to the hydrogen and oxygen atom flux. The essential roles of Calt;subagt;3alt;/subagt;Halt;subagt;9alt;/subagt;SiO molecules and Sialt;subagt;2alt;/subagt;OCalt;subagt;5alt;/subagt;Halt;subagt;15alt;/subagt;alt;supagt;+alt;/supagt; ions on the deposition process are verified.

中文翻译：

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以氧气和六甲基二硅氧烷的混合物馈送以进行沉积的微波诱导同轴表面波放电的数值分析

通过体积平均零维建模形式对用于聚合物涂层沉积的氧气和六甲基二硅氧烷的进料气体混合物的微波诱导同轴表面波放电进行了数值分析。为了对径向壁处的正离子和反应性中性通量的自洽描述，分析估计了一组边缘与中心比率 [Kemaneci et al 2017 J. Phys. D：申请。物理。50（24）：245203]。将模拟结果与各种不同粒子浓度以及电子温度的测量值进行比较，并在输入功率、压力和氧气与六甲基二硅氧烷的流量比方面取得一致。a#13；净电荷密度主要由 Sialt;subagt;2alt;/subagt;OCalt;subagt;5alt;/subagt;Halt;subagt;15alt;/subagt; alt;supagt;+alt;/supagt; 具有可忽略的电负性。六甲基二硅氧烷通过电子碰撞解离和解离电离被裂解成甲基自由基。产生大量的碳氢化合物、水、一氧化碳、二氧化碳和氢分子。由于氢和氧原子通量，固体表面的排放物形成了净碳氢化合物和一氧化碳生产速率的很大一部分。Calt;subagt;3alt;/subagt;Halt;subagt;9alt;/subagt;SiO分子和Sialt;subagt;2alt;/subagt;OCalt;subagt;5alt;/subagt;Halt;subagt;15alt;/的基本作用subagt;alt;supagt;+alt;/supagt; 对沉积过程的离子进行验证。六甲基二硅氧烷通过电子碰撞解离和解离电离被裂解成甲基自由基。产生大量的碳氢化合物、水、一氧化碳、二氧化碳和氢分子。由于氢和氧原子通量，固体表面的排放物形成了净碳氢化合物和一氧化碳生产速率的很大一部分。Calt;subagt;3alt;/subagt;Halt;subagt;9alt;/subagt;SiO分子和Sialt;subagt;2alt;/subagt;OCalt;subagt;5alt;/subagt;Halt;subagt;15alt;/的基本作用subagt;alt;supagt;+alt;/supagt; 对沉积过程的离子进行验证。六甲基二硅氧烷通过电子碰撞解离和解离电离被裂解成甲基自由基。产生大量的碳氢化合物、水、一氧化碳、二氧化碳和氢分子。由于氢和氧原子通量，固体表面的排放物形成了净碳氢化合物和一氧化碳生产速率的很大一部分。Calt;subagt;3alt;/subagt;Halt;subagt;9alt;/subagt;SiO 分子和 Sialt;subagt;2alt;/subagt;OCalt;subagt;5alt;/subagt;Halt;subagt;15alt;/ subagt;alt;supagt;+alt;/supagt; 对沉积过程中的离子进行验证。由于氢和氧原子通量，固体表面的排放物形成了净碳氢化合物和一氧化碳生产速率的很大一部分。Calt;subagt;3alt;/subagt;Halt;subagt;9alt;/subagt;SiO分子和Sialt;subagt;2alt;/subagt;OCalt;subagt;5alt;/subagt;Halt;subagt;15alt;/的基本作用subagt;alt;supagt;+alt;/supagt; 对沉积过程的离子进行验证。由于氢和氧原子通量，固体表面的排放物形成了净碳氢化合物和一氧化碳生产速率的很大一部分。Calt;subagt;3alt;/subagt;Halt;subagt;9alt;/subagt;SiO分子和Sialt;subagt;2alt;/subagt;OCalt;subagt;5alt;/subagt;Halt;subagt;15alt;/的基本作用subagt;alt;supagt;+alt;/supagt; 对沉积过程的离子进行验证。