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级联光学相干层析成像技术对自由形式光学计量学的验证
Optics Express ( IF 3.2 ) Pub Date : 2021-03-04 , DOI: 10.1364/oe.413844 Di Xu 1 , Zhenkun Wen 1 , Andres Garcia Coleto 1 , Michael Pomerantz 1 , John C. Lambropoulos 1 , Jannick P. Rolland 1
Optics Express ( IF 3.2 ) Pub Date : 2021-03-04 , DOI: 10.1364/oe.413844 Di Xu 1 , Zhenkun Wen 1 , Andres Garcia Coleto 1 , Michael Pomerantz 1 , John C. Lambropoulos 1 , Jannick P. Rolland 1
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自由形式的光学组件使光学系统在性能和封装方面都取得了巨大的进步。人造自由曲面光学器件的表面形态计量学仍然是一个挑战，也是一个活跃的研究领域。为了解决这一挑战，我们先前曾报道过一种新颖的体系结构，即级联光学相干断层扫描（C-OCT），该结构已通过其在给定点的高精度下垂测量能力进行了验证。在这里，我们演示了通过开发基于光学继电器的定制扫描机制和独特的高速旋转机制实现的自由曲面测量。在平面镜上的实验结果表明RMS平坦度为14 nm（在He-Ne波长处约为λ/ 44）。在自由曲面镜上进行测量时，RMS残差为69 nm（〜λ/ 9）。
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更新日期：2021-03-15
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