The properties of machining tools limit the application of micro-texture for wear reduction and self-lubrication of workpiece in precision engineering. The CVD microarray diamond tools can satisfy abrasion resistance and high lifetime of the tool as well as fast and reliable manufacture of texture structures. In this paper, femtosecond laser is used to manufacture diamond tools with different microarray cutting edges for the flexibility of tool design and the manufacture of micro-tools without obvious edge brittle in contour. The process parameters that affect the cutting edge quality are evaluated. Laser ablation strategy plays an essential role in fabricating high quality of cutting edge and high material removal efficiency. The ‘outline paths and concentric arc paths filling’ ablation strategy can guarantee both the processing quality and material removal efficiency. The ablation speed and fluence directly affect the formation of microstructure and the requirements of different tool design characteristics can be met by changing the ablation speed and fluence. By controlling the parameters of laser ablation CVD diamond, the micro-tools with dual array for micro-cutting ductile and brittle workpiece are presented. In the subsequent micro-cutting experiments, the performance of diamond tools with dual scale microarray is analyzed. Compared with the existing single cutting edge micro-tools, microarray diamond tools have higher flexibility and efficiency in microtexture processing.

加工工具的特性限制了微纹理在精密工程中减少工件磨损和自润滑的应用。CVD微阵列金刚石工具可以满足工具的耐磨性和高使用寿命，以及纹理结构的快速可靠的制造。在本文中，飞秒激光用于制造具有不同微阵列切削刃的金刚石刀具，以实现刀具设计的灵活性和微刀具的制造，且轮廓没有明显的刃口脆性。评估影响切削刃质量的工艺参数。激光烧蚀策略在制造高质量的切削刃和高材料去除效率方面起着至关重要的作用。“轮廓路径和同心圆弧路径填充”消融策略可以保证加工质量和材料去除效率。烧蚀速度和通量直接影响显微组织的形成，并且通过改变烧蚀速度和通量可以满足不同工具设计特征的要求。通过控制激光烧蚀CVD金刚石的参数，提出了一种用于微加工韧性和脆性工件的双阵列微型刀具。在随后的微切割实验中，分析了具有双尺度微阵列的金刚石工具的性能。与现有的单一尖端微工具相比，微阵列金刚石工具在微纹理加工中具有更高的灵活性和效率。烧蚀速度和通量直接影响显微组织的形成，并且通过改变烧蚀速度和通量可以满足不同工具设计特征的要求。通过控制激光烧蚀CVD金刚石的参数，提出了一种用于微加工韧性和脆性工件的双阵列微型刀具。在随后的微切割实验中，分析了具有双尺度微阵列的金刚石工具的性能。与现有的单一尖端微工具相比，微阵列金刚石工具在微纹理加工中具有更高的灵活性和效率。烧蚀速度和通量直接影响显微组织的形成，并且通过改变烧蚀速度和通量可以满足不同工具设计特征的要求。通过控制激光烧蚀CVD金刚石的参数，提出了一种用于微加工韧性和脆性工件的双阵列微型刀具。在随后的微切割实验中，分析了具有双尺度微阵列的金刚石工具的性能。与现有的单一尖端微工具相比，微阵列金刚石工具在微纹理加工中具有更高的灵活性和效率。提出了用于微切割延性和脆性工件的双阵列微刀具。在随后的微切割实验中，分析了具有双尺度微阵列的金刚石工具的性能。与现有的单刃微工具相比，微阵列金刚石工具在微纹理加工中具有更高的灵活性和效率。提出了用于微切割韧性和脆性工件的双阵列微型刀具。在随后的微切割实验中，分析了具有双尺度微阵列的金刚石工具的性能。与现有的单一尖端微工具相比，微阵列金刚石工具在微纹理加工中具有更高的灵活性和效率。