大多数半导体公司遵循 SEMI E10 和 E79 指南，通过 OEE（整体设备效率）来衡量设备可用性和效率。然而，在实施 OEE 之前需要克服几个问题。例如，OEE 损失的时间间隔对改进研究至关重要，但很难收集可靠和准确的数据。因此，一旦人们实施了 OEE，人们就会发现其作系统记录的损失与 SEMI E79 定义中的 OEE 损失之间存在未知差异。此外，如何获得理论单位吞吐量或标准 UPH（单位每小时机器速率）以确定设备的平均处理速率是另一个需要解决的问题。



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