Zinc oxide [Formula: see text], undoped and Al-doped thin films have been synthesized by the ultrasonic spray-assisted chemical vapor deposition (USCVD) system. The films were deposited on glass substrates. The precursor solution was prepared dissolving zinc chloride in distilled water. First, the precursor concentrations were investigated and optimized before studying [Formula: see text] doped, after we have studied the [Formula: see text]-doped influence on [Formula: see text] films especially optical and electrical properties for use as a transparent conductive oxide (TCO) in solar cell electrodes. The characterizations have been carried out using X-ray diffraction technique, UV-vis spectrophotometry, Hall Effect measurement (ECOPIA), atomic force microscopy (AFM, VEECO Dimension [Formula: see text] and scanning electron microscopy (SEM). X-ray diffraction (XRD) results showed that [Formula: see text] and [Formula: see text]-doped [Formula: see text] films were crystallized in the hexagonal wurtzite structure with [Formula: see text] orientation. Optical measurements have shown that all films exhibit, along the visible range, high transmittance and that optical band gap depends strongly to [Formula: see text]-doped concentration. Hall-effect measurement indicates that the highest carrier concentration [Formula: see text] and the lowest resistivity [Formula: see text] are obtained for the [Formula: see text] AZO sample. The SEM shows that the microstructures of [Formula: see text] and [Formula: see text] are homogeneous and the AFM images prove their microcrystallinity with grains orthogonal to the film surface.

中文翻译：

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高透明导电铝掺杂 ZnO 的超声喷雾辅助 CVD 生长

已通过超声喷雾辅助化学气相沉积 (USCVD) 系统合成了氧化锌 [分子式：见正文]、未掺杂和掺杂铝的薄膜。薄膜沉积在玻璃基板上。将氯化锌溶解在蒸馏水中制备前体溶液。首先，在研究[公式：见文本]掺杂之前研究和优化前体浓度，在我们研究了[公式：见文本]掺杂对[公式：见文本]薄膜的影响，特别是用作薄膜的光学和电学性能之后太阳能电池电极中的透明导电氧化物 (TCO)。已经使用 X 射线衍射技术、紫外可见分光光度法、霍尔效应测量 (ECOPIA)、原子力显微镜 (AFM、VEECO Dimension [公式：见正文] 和扫描电子显微镜 (SEM) 进行了表征。X射线衍射（XRD）结果表明，[分子式：见文本]和[分子式：见文本]掺杂的[分子式：见文本]薄膜结晶为具有[分子式：见文本]取向的六方纤锌矿结构。光学测量表明，所有薄膜在可见光范围内都表现出高透射率，并且光学带隙很大程度上取决于[公式：见正文]掺杂浓度。霍尔效应测量表明，[公式：参见文本] AZO 样品获得了最高的载流子浓度 [公式：参见文本] 和最低的电阻率 [公式：参见文本]。SEM显示[公式：见正文]和[公式：见正文]的微观结构是均匀的，AFM图像证明了它们的微结晶性，晶粒垂直于薄膜表面。见正文]掺杂的[公式：见正文]薄膜结晶成具有[公式：见正文]取向的六方纤锌矿结构。光学测量表明，所有薄膜在可见光范围内都表现出高透射率，并且光学带隙很大程度上取决于[公式：见正文]掺杂浓度。霍尔效应测量表明，[公式：参见文本] AZO 样品获得了最高的载流子浓度 [公式：参见文本] 和最低的电阻率 [公式：参见文本]。SEM显示[公式：见正文]和[公式：见正文]的微观结构是均匀的，AFM图像证明了它们的微结晶性，晶粒垂直于薄膜表面。见正文]掺杂的[公式：见正文]薄膜结晶成具有[公式：见正文]取向的六方纤锌矿结构。光学测量表明，所有薄膜在可见光范围内都表现出高透射率，并且光学带隙很大程度上取决于[公式：见正文]掺杂浓度。霍尔效应测量表明，[公式：参见文本] AZO 样品获得了最高的载流子浓度 [公式：参见文本] 和最低的电阻率 [公式：参见文本]。SEM显示[公式：见正文]和[公式：见正文]的微观结构是均匀的，AFM图像证明了它们的微结晶性，晶粒垂直于薄膜表面。光学测量表明，所有薄膜在可见光范围内都表现出高透射率，并且光学带隙很大程度上取决于[公式：见正文]掺杂浓度。霍尔效应测量表明，[公式：参见文本] AZO 样品获得了最高的载流子浓度 [公式：参见文本] 和最低的电阻率 [公式：参见文本]。SEM显示[公式：见正文]和[公式：见正文]的微观结构是均匀的，AFM图像证明了它们的微结晶性，晶粒垂直于薄膜表面。光学测量表明，所有薄膜在可见光范围内都表现出高透射率，并且光学带隙很大程度上取决于[公式：见正文]掺杂浓度。霍尔效应测量表明，[公式：参见文本] AZO 样品获得了最高的载流子浓度 [公式：参见文本] 和最低的电阻率 [公式：参见文本]。SEM显示[公式：见正文]和[公式：见正文]的微观结构是均匀的，AFM图像证明了它们的微结晶性，晶粒垂直于薄膜表面。见文本] 和最低电阻率 [公式：见文本] 获得 [公式：见文本] AZO 样品。SEM显示[公式：见正文]和[公式：见正文]的微观结构是均匀的，AFM图像证明了它们的微结晶性，晶粒垂直于薄膜表面。见文本] 和最低电阻率 [公式：见文本] 获得 [公式：见文本] AZO 样品。SEM显示[公式：见正文]和[公式：见正文]的微观结构是均匀的，AFM图像证明了它们的微结晶性，晶粒垂直于薄膜表面。