Incorporating two-dimensional transition metal dichalcogenides (TMDs) into electronic and optoelectronic applications requires a fundamental understanding of metal/TMD interactions. This work applies a fast and easy approach to observe reactivity between metal contacts and monolayer (1L) WS2 via Raman spectroscopy using both destructive and non-destructive methods. We compare findings from Raman spectra collected via a backside geometry and also from mechanically exfoliated metal/WS2 films after annealing with our previously published thermodynamic predictions for reactivity of bulk materials. The disappearance of the Raman-active phonon modes for WS2 suggests the consumption of WS2 through reactions with the continuous metal film, as observed completely for Ti upon deposition and nearly completely for Al after annealing at and above 100 °C. On the other hand, the persistence of multiple Raman-active phonon modes for WS2 confirms that Au, Cu, and Pd are unreactive with WS2 upon deposition and after cumulatively annealing for 1 h at 100, 200, and 300 °C, even though unreactive metal overlayers can shift some of the peaks in the spectrum. The metal/WS2 reactivity observed in this study is in excellent agreement with predictions from bulk thermodynamics, which can provide good guidance for studies of other metal/TMD systems. In addition, using a backside geometry for collecting Raman spectra can aid in fundamental studies of interfaces with TMDs.

中文翻译：

---

接触金属在单层 WS2 上的反应性

将二维过渡金属二硫属化物 (TMD) 结合到电子和光电应用中需要对金属/TMD 相互作用有基本的了解。这项工作应用了一种快速简便的方法，使用破坏性和非破坏性方法通过拉曼光谱观察金属触点和单层 (1L) WS2 之间的反应性。我们将通过背面几何形状收集的拉曼光谱以及退火后机械剥离的金属/WS2 薄膜的结果与我们之前发表的散装材料反应性热力学预测进行比较。WS2 的拉曼活性声子模式的消失表明 WS2 通过与连续金属膜的反应而消耗，正如在沉积时完全观察到 Ti，在 100°C 及以上退火后几乎完全观察到。另一方面，WS2 的多种拉曼活性声子模式的持久性证实，Au、Cu 和 Pd 在沉积时和在 100、200 和 300 °C 下累积退火 1 小时后与 WS2 不反应，即使不反应金属覆盖层可以移动光谱中的一些峰。本研究中观察到的金属/WS2 反应性与本体热力学的预测非常吻合，可为其他金属/TMD 系统的研究提供良好的指导。此外，使用背面几何结构收集拉曼光谱有助于对与 TMD 的界面进行基础研究。即使非反应性金属覆盖层可以移动光谱中的某些峰。本研究中观察到的金属/WS2 反应性与本体热力学的预测非常吻合，可为其他金属/TMD 系统的研究提供良好的指导。此外，使用背面几何结构收集拉曼光谱有助于对与 TMD 的界面进行基础研究。即使非反应性金属覆盖层可以移动光谱中的某些峰。本研究中观察到的金属/WS2 反应性与本体热力学的预测非常吻合，可为其他金属/TMD 系统的研究提供良好的指导。此外，使用背面几何结构收集拉曼光谱有助于对与 TMD 的界面进行基础研究。