We present an overview of the emerging and enabling miniature MEMS-based components for the terahertz frequencies. The usage of miniature MEMS integrated within the terahertz components is an uprising field of research, which offers reconfigurability, improved performance, and ability to perform unprecedented functions that cannot be achieved using the state-of-the-art semiconductor and optical technologies. In this paper, we discuss the recent progress and future of miniature MEMS-based reconfigurable components and present examples including reconfigurable sources, detectors, metamaterials, and guided-wave components. [2019-0099]

中文翻译：

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微型 MEMS：实现太赫兹可重构性的新型关键组件

我们概述了用于太赫兹频率的新兴和支持微型 MEMS 组件。使用集成在太赫兹元件中的微型 MEMS 是一个新兴的研究领域，它提供可重构性、改进的性能以及执行使用最先进的半导体和光学技术无法实现的前所未有的功能的能力。在本文中，我们讨论了基于微型 MEMS 的可重构组件的最新进展和未来，并展示了包括可重构源、探测器、超材料和导波组件在内的示例。[2019-0099]