With the continuous development of the semiconductor industry, interest in the technology for treating various pollutant gases in the semiconductor fabrication process has increased recently. Various gas scrubbers are being used to remove the pollutant gas from the processes. An efficient design of the pyrolysis reactor is crucial in a scrubber system due to the effective removal of pollutant sources and the overall operation stability. In this study, the thermal and flow characteristics in the reactor were examined through experiments and numerical analysis using a small-scale model of simplified pyrolysis reactor. Furthermore, a prototype model of pyrolysis reactor was designed through analysis result of small-scale model based on the similitude theory. The results of this study can be used as basic data for analyzing thermal and flow characteristics in a variety of scrubber systems.Implications: This study investigated and suggested a methodology for designing a pyrolysis reactor of the gas scrubber to overcome the design failure by using the concept of similarity, which can use the results from one system to explain phenomena in another system. We believe that our study makes a significant contribution to the literature because it provides a way to improve the performance of the gas scrubbers and test this performance with a smaller scalable model. And, we expect this study to be used as basic data when applying innovative and new design proposals in various industries.

中文翻译：

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基于相似理论设计的气体洗涤塔热解反应器热流特性的数值和实验分析。

随着半导体工业的不断发展，最近对在半导体制造过程中处理各种污染物气体的技术的兴趣增加了。各种气体洗涤器被用于从工艺中去除污染气体。由于有效去除污染物源和总体运行稳定性，热解反应器的高效设计对于洗涤塔系统至关重要。在这项研究中，通过使用简化热解反应器的小规模模型进行的实验和数值分析，检查了反应器中的热和流动特性。此外，基于相似理论，通过小规模模型的分析结果，设计了热解反应器的原型模型。这项研究的结果可以用作分析各种洗涤塔系统中的热和流量特性的基础数据。启示：本研究调查并提出了一种设计气体洗涤塔热解反应器的方法，以克服使用该塔的热分解反应器的设计失败。相似性的概念，可以使用一个系统的结果来解释另一个系统中的现象。我们相信我们的研究为文献做出了重大贡献，因为它提供了一种改善气体洗涤塔性能并使用较小的可扩展模型测试该性能的方法。并且，我们希望在各种行业中应用创新和新设计方案时，这项研究可以用作基础数据。这项研究调查并提出了一种设计气体洗涤器热解反应器的方法，以利用相似性的概念来克服设计失败，该方法可以使用一个系统的结果来解释另一个系统中的现象。我们相信我们的研究为文献做出了重大贡献，因为它提供了一种改善气体洗涤塔性能并使用较小的可扩展模型测试该性能的方法。并且，我们希望这项研究能够在各种行业中应用创新和新的设计方案时用作基础数据。这项研究调查并提出了一种设计气体洗涤器热解反应器的方法，以利用相似性的概念来克服设计失败，该方法可以使用一个系统的结果来解释另一个系统中的现象。我们相信我们的研究为文献做出了重大贡献，因为它提供了一种改善气体洗涤塔性能并使用较小的可扩展模型测试该性能的方法。并且，我们希望在各种行业中应用创新和新设计方案时，这项研究可以用作基础数据。我们相信我们的研究为文献做出了重大贡献，因为它提供了一种改善气体洗涤塔性能并使用较小的可扩展模型测试该性能的方法。并且，我们希望在各种行业中应用创新和新设计方案时，这项研究可以用作基础数据。我们相信我们的研究为文献做出了重大贡献，因为它提供了一种改善气体洗涤塔性能并使用较小的可扩展模型测试该性能的方法。并且，我们希望在各种行业中应用创新和新设计方案时，这项研究可以用作基础数据。