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Split resonances for simultaneous detection and control measurements in a single bulk acoustic wave (BAW) sensor†
Nanoscale ( IF 5.8 ) Pub Date : 2018-07-16 00:00:00 , DOI: 10.1039/c8nr04665d Ewelina Wajs 1, 2, 3, 4 , Girish Rughoobur 3, 5, 6, 7 , Andrew J. Flewitt 1, 2, 3, 4
Nanoscale ( IF 5.8 ) Pub Date : 2018-07-16 00:00:00 , DOI: 10.1039/c8nr04665d Ewelina Wajs 1, 2, 3, 4 , Girish Rughoobur 3, 5, 6, 7 , Andrew J. Flewitt 1, 2, 3, 4
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A self-referenced resonator consisting of two distinct areas of the top electrode made from Mo and a thin (5–30 nm) functional Au layer is shown. The fundamental frequencies for both the shear (∼1 GHz) and longitudinal (∼2 GHz) modes are split in two, such that mass attachment on the functional layer region causes frequency shifts in only one of the resonances, allowing a new approach of using the difference between the two frequencies to be used to measure mass attachment; this reduces the importance of device-to-device variability in absolute resonant frequency as a result of device fabrication.
中文翻译：
在单个体声波（BAW）传感器中同时检测和控制测量的分离共振†
显示了一个自参考谐振器，该谐振器由顶部电极的两个不同区域组成，该区域由钼制成，并具有功能薄的Au层（5-30 nm）。剪切模式（〜1 GHz）和纵向模式（〜2 GHz）的基本频率一分为二，因此，功能层区域上的质量附着仅导致共振之一的频率偏移，从而允许使用一种新的方法用于测量质量附着的两个频率之间的差异；由于器件制造，这降低了器件之间在绝对谐振频率中变化的重要性。
更新日期：2018-07-16
中文翻译：
在单个体声波（BAW）传感器中同时检测和控制测量的分离共振†
显示了一个自参考谐振器，该谐振器由顶部电极的两个不同区域组成，该区域由钼制成，并具有功能薄的Au层（5-30 nm）。剪切模式（〜1 GHz）和纵向模式（〜2 GHz）的基本频率一分为二，因此，功能层区域上的质量附着仅导致共振之一的频率偏移，从而允许使用一种新的方法用于测量质量附着的两个频率之间的差异；由于器件制造，这降低了器件之间在绝对谐振频率中变化的重要性。
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