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实验条件
频域热反射热导测试系统 (Frequency-domain thermoreflectance,FDTR)

用途:测量体材料、薄膜材料热导率以及界面热导。

原理:本FDTR系统基于连续波激光器。激光通过由函数发生器驱动的电光调制器,为样品提供调制的热源;锁相放大器记录反射探针光束的振幅和相位响应。测得的响应与热波相对应,并与样品的物性存在关联,通过将响应信号与热传导模型的预测结果进行参数拟合,即可获得样品热物性参数,包括热导率、界面热导等。本系统泵浦激光波长为405nm,探测激光波长为532nm,样品表面一般沉积80-100nm金膜作为transducer用于吸收激光能量并反射部分激光。

案例:电镀铜薄膜

 相关文献:https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.109152

     

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