个人简介
江苏特聘教授,333高层次人才,长期从事高性能微纳器件(MEMS/NEMS)、智能微系统与集成、半导体材料原位测试技术的研究工作。主持国家级、省部级项目10余项。发表国内外期刊论文50余篇、授权中国发明专利30余项、参编制定MEMS测试技术国家标准、获国家科学技术进步奖二等奖(3/10)、江苏省科学技术奖二等奖(3/10)等科技奖励5项。《微电子学》青年编委,兼任中国仪器仪表行业协会工艺分会、传感器分会理事。
教育经历
1997.9-2001.6 合肥工业大学 学士
2001.9-2004.3 合肥工业大学 硕士
2004.3-2008.3 东南大学 博士
工作经历
2008.3- 至今 东南大学 MEMS 教育部重点实验室
2011.9-2012.9 荷兰代尔夫特理工大学 博士后
中国仪器仪表学会 - 元件 / 工艺分会理事,中国微米纳米学会会员
研究领域
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1. MEMS/NEMS传感器(面向工业、5G通讯等领域)
2. 柔性传感器及 系统集成(面向可穿戴领域)
3.光电集成电路设计 (面向 集成电路 领域)
4.半导体材料特性测试技术(面向原子制造、 集成电路先进制程 领域)
学术兼职
《微电子学》青年编委,兼任中国仪器仪表行业协会工艺分会、传感器分会理事。
中国仪器仪表学会 - 元件 / 工艺分会理事,中国微米纳米学会会员