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个人简介

招生方向 超精密机电系统设计 教育背景 2008-09--2011-12 吉林大学 博士 2006-09--2008-07 吉林大学 硕士 2002-09--2006-07 吉林大学 学士 工作简历 2014-09~现在, 长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员 2011-12~2014-09,长春光学精密机械与物理研究所, 助理研究员 专利成果 ( 1 ) 一种桥式柔性铰链结构的光学元件轴向微动调整装置, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 201410821887.0 ( 2 ) 一种柔性环片结构的透镜轴向微调装置, 发明, 2013, 第 1 作者, 专利号: 201310134849.3 ( 3 ) 一种狭缝柔性结构的光学元件微动调整装置, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510967716.3 ( 4 ) 一种基于Roberts机构的圆周导向机构, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201710431502.3 科研项目 ( 1 ) NA0.75光刻投影物镜系统光机结构与装调技术研究, 参与, 国家级, 2009-07--2016-12 ( 2 ) 静电作用调控下反应烧结SiC同步改性抛 光研究, 参与, 国家级, 2016-01--2018-12 ( 3 ) 超高导向精度的光刻物镜补偿机构研究, 主持, 国家级, 2017-01--2019-12 ( 4 ) 浸没式光刻物投影镜结构技术研究, 参与, 国家级, 2017-01--2019-12 ( 5 ) ***关键执行器和传感器产品研发, 主持, 国家级, 2020-01--2021-12

研究领域

超精密机电系统设计

近期论文

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(1) Design and Assessment of a 6-DOF Micro/Nanopositioning System, IEEE/ASME transactions on mechatronics, 2019, 第 5 作者 (2) Dynamic linear modeling, identication and precise control of a walking piezo-actuated stage, Mechanical Systems and Signal Processing, 2019, 第 5 作者 (3) A monolithic adjusting mechanism for optical element based on modified 6-PSS parallel mechanism, Sensors & Actuators A Physical, 2016, 第 1 作者 (4) 具有三自由度的减薄直圆型柔性铰链柔度分析, 光学精密工程, 2015, 第 1 作者 (5) 柔性环片结构的光学元件轴向调节机构设计, 光学学报, 2014, 第 1 作者 (6) 6-PSS型光学元件精密轴向调节机构, 光学精密工程, 2013, 第 1 作者 (7) 轴向调节机构中调节力对光学元件面形的影响, 光学学报, 2013, 第 1 作者 (8) Development of a two-degree-of-freedom piezoelectric motor using single plate vibrator, Journal of Mechanical Engineering Science, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers Part C, 2012, 第 2 作者 (9) 光学元件一体化精密轴向调整机构的设计, 光学学报, 2012, 第 1 作者

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