焦庆斌 - 中国科学院大学

个人简介

招生方向全息光栅；衍射器件；非晶与单晶材料湿刻光栅理论与工艺研究教育背景 2009-09--2014-07 中国科学院大学理学博士学位工作简历 2014-07~2020-12,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 无专利成果（ 1 ）一种聚合物微纤维结构的制备方法及应用, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201910023605.5 （ 2 ）新型的临界角透射光栅制作方法, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201811597429.8 （ 3 ）高开口面积临界角透射光栅的制备方法, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201811592328.1 科研项目（ 1 ） 1.5米扫描干涉场曝光系统, 参与, 国家级, 2013-01--2019-12 （ 2 ）超声强化液固传质三维动力学模型及其在阶梯状边界条件下的应用研究, 主持, 国家级, 2017-01--2019-12 （ 3 ） 2018曙光计划, 主持, 市地级, 2018-07--2021-06 （ 4 ） 2019青促会, 主持, 研究所（学校）, 2019-01--2022-12 （ 5 ）软X射线临界角单晶硅透射光栅研制技术, 参与, 部委级, 2019-01--2019-12 （ 6 ）基于扫描干涉场拼接曝光-单晶硅各向异性湿刻的软X射线临界角透射光栅制作方法研究, 主持, 国家级, 2020-01--2023-12 （ 7 ）纳米结构球囊智能力反馈柔性抓取技术开发及应用示范, 主持, 省级, 2020-01--2022-12

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（1） The effects of TMDD-PA concentration on roughness of Si〈1 1 0〉and etching rate ratio of Si〈1 1 0〉/〈1 1 1〉in alkaline KOH solution, Physical Chemistry, 2020, 第 2 作者（2） Design of a subwavelength all-metal grating for generating azimuthally polarized beams based on modified particle swarm optimization, Applied Optics, 2019, 第 2 作者（3） The effect of ultrasonic vibration and surfactant additive on fabrication of 53.5gr/mm silicon echelle grating with low surface roughness in alkaline KOH solution, Ultrason. Sonochem., 2018, 第 1 作者（4） Effects of ultrasonic agitation and surfactant additive on surface roughness of Si (111) crystal plane in alkaline KOH solution, Ultrason. Sonochem., 2016, 第 1 作者