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仪器设备

            

                       磁控离子束联合系统                                                             低真空多功能CVD系统(自主设计)

        

                   氧化炉                                               远程等离子体辅助CVD系统(自主设计)

             

                             干燥恒温箱                                                    超纯水机

        

                   加热台                                                     水浴加热器

              

                 衬底切割机                                                  磁力加热搅拌器

                  旋涂仪