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课题组张海老师、邓浩国同学参加2023年第二十五届全国静电学术年会并作墙报汇报
发布时间:2023-07-25

  中国物理学会2023年第二十五届全国静电学术年会于2023年7月21日至24日在兰州举行,大会主题涵盖了静电基础与应用、放电等离子体等。课题组张海老师和邓浩国同学参加并作了题为《等离子体增强化学气相沉积法制备氧化镓薄膜》的墙报汇报,介绍了使用PECVD方法在c-Al2O3(0001)衬底上外延生长出沿(-201)取向优先生长的β-Ga2O3薄膜,探索出了最佳生长条件,并制备成MSM光电器件,测试出其光电性质达到了行业平均水平。会议上听取了其他院校科研工作者的相关报告,为后续实验提供了新启发。