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个人简介

个人简介 王志越,男,研究员,1962年5月生,中国电子科技集团公司第四十五研究所副所长, 2005年获硕士学位。历任所光刻机研究室主任、所党委副书记等职。近年来,主要负责所科研与技术开发工作,主持国家863项目、02重大科技专项项目等研究工作。 学术任职情况: 国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项(02重大科技专项)总体专家组专家。 中国电子科技集团公司项目评审专家。 国家集成电路封测产业链技术创新联盟副理事长。 中国电子学会电子制造与封装技术分会副理事长。 北京市电子制造装备协会技术委员会委员。 近年来承担的主要科研项目: 1.2009-2010,高亮度LED芯片制造装备,科技部“863”项目,1800万元,主持 2.2009-2012,封装设备关键部件及核心技术,国家重大科技专项02专项,8000万元,主持 近年来发表的主要学术论文和代表性成果: 1. 王志越,易辉,高尚通. 先进封装关键工艺设备面临的机遇和挑战. 《电子工业专用设备》2012年第4期。 2. 张云,王志越. 先进半导体设备制造技术及趋势, 《半导体技术》2008年第1期。 3. Quan Weichuang, Huang Meifa, Wang Zhiyue, Zhang Dawei, Modal analysis for swing-arm of LED die bonder. Advanced Materials Research, Equipment Manufacturing Technology, 2012, v422, p 379-382 4.王志越,中国集成电路封装设备的发展趋势,2010中国电子制造技术论坛论文集 5.童志义,张世恩,王志越,实现国产半导体设备“零”市场的突围,2003中国电子制造技术论坛暨展会暨第七届SMT、SMD技术研讨会论文集 6.王志越,先进制造技术之——IC与MEMS制造技术及其发展趋势,电子工业专用设备,2002(4) 7.王志越,先进制造技术之——IC&MEMS制造技术及其发展趋势(续前),电子工业专用设备,2003(1) 8.王志越,双面对准曝光中关键技术研究,电子工业专用设备,2000(3) 1 9.王志越,BG-102分步光刻机,国家科技成果,2002年,排名第四 10.王志越,特种器件用双面曝光机,电子工业部科技进步二等奖,1998年,排名第一

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研究领域:先进半导体设备制造技术

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