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专利 一种微振致动真空吸笔 一种驱动式压电隔膜泵 一种高压蓄能器及其控制方法 科研项目 基于柔性驱动的低频压电气泵研究,2019-07-09,进行 柔性驱动式低频压电气泵的设计理论及关键技术研究,2019-11-15,进行