2858
当前位置: 首页   >  研究方向
研究方向

        聚焦常压等离子体在功能材料制备与改性中的创新应用,融合半导体材料理论计算模拟,通过等离子体物理-化学协同调控,实现对材料结构的精准调控和性能提升,为新能源、环保和生物医学领域提供新材料解决方案。

1. 等离子体低温制备功能性薄膜材料

       通过射频常压等离子体增强化学气相沉积(RF AP PECVD)技术,实现金属氧化物(TiO2、ZnO、SiO2等)薄膜的低温可控制备,研究薄膜沉积动力学。

2. 等离子体缺陷工程与表届面调控

       通过等离子体活性粒子与材料表界面相互作用,实现能带结构和光电性能的精准调控,研究等离子体材料表面改性机理。

3. 等离子体装备开发与跨领域应用

       设计等离子体微区诊断装置,设计开发高性能光电器件与环保系统,推进等离子体技术产业化延伸。

3. 等离子体在其他领域的应用研究

       待更新。。。