实验室面向珠三角地区发达的电子信息制造业,开发各类激光微加工工艺与装备。研究方向包括:
(1) 激光微加工过程监测与反馈控制。通过在激光微加工系统中融入扫描共聚焦、投影聚焦等检测系统,实现对加工过程的监测和反馈控制,大幅提高复杂场景下的加工精度和一致性。融合AOD和数字振镜扫描系统,实现复杂宏微轨迹的高响应加工。
(2) 激光转印工艺与装备。研发专用的激光转印材料体系、配套工艺和专用装备,实现微尺度金属点阵、线路和三维结构的成型。
(3) 两相换热增强功能微结构激光制造技术。针对两相换热强化,设计并通过激光微加工方法制造功能表面结构。
实验室主要以微秒、纳秒激光为工具,实现高精度、高选择性、高可控性的微量加工过程,其加工尺度主要在毫米到微米量级。这些工艺在电子信息制造中具有重要应用。实现上述目标,工艺研究是基础,实验室结合数值仿真、泵浦探测等手段,来研究加工过程的核心机理,确定核心的器件参数并开发专用材料体系;另一方面,加工过程的反馈与控制是关键,实验室自行设计专用的机械结构和软硬件系统,并融合各类在线监测手段和专用算法,实现对加工过程的有效控制。
实验室研究与产业界密切结合,学生需要参与机械、电气、软件系统的开发,热忱欢迎具有数值仿真、机械设计、软件编程等基础的优秀学生加入。