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张锦文 博导 教授 收藏 完善纠错
北京大学    集成电路学院

个人简介

1991年于上海交通大学获学士学位；2005年于北京大学获博士学位。 2003年-2005年在香港科技大学做访问学者。1999年至今在北京大学集成电路学院任教。 主持和参加国家重点研发计划、973、863、自然科学基金等项目十余项，发表文章近百篇。

研究领域

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微纳米加工技术及其应用研究

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