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通过多焦点点调制实现柔性平行激光直接写入
Optics Express ( IF 3.8 ) Pub Date : 2021-03-05 , DOI: 10.1364/oe.417937
Yueqiang Zhu 1 , Chen Zhang 1 , Yanyan Gong 1 , Wei Zhao 1 , Jintao Bai 1 , Kaige Wang 1
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在这项研究中,我们提出一种带状分割阶段(SSP)的方法,用于空间光调制器(SLM)当光束通过高数值孔径(NA)透镜时产生独立的多焦点。使用SSP方法,可以在每个斑点独立,灵活且均匀分布的情况下生成多焦点斑点。首先通过数值模拟验证了SSP方法的性能。然后,通过应用具有SLM的调制方法并将光束导入具有高NA透镜的倒置荧光显微镜系统中,可以通过荧光图像观察光斑分布及其形状。通过前述数值模拟,荧光图像表现出高均匀性和高一致性。最后,我们在SLM上动态加载一系列相位图,以实现多焦点阵列中连续且独立的光斑移动。通过在光致抗蚀剂上进行激光直接写入,可以灵活地实现具有多任务制造能力的复杂NWU形结构。SSP方法可以显着提高激光直写的效率和灵活性。它也与最新技术兼容,例如多光子吸收,受激发射损耗和光致解聚等,以实现并行超分辨率成像和制造。



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更新日期:2021-03-15
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