当前位置: X-MOL 学术Chem. Eng. J. › 论文详情
Our official English website, www.x-mol.net, welcomes your feedback! (Note: you will need to create a separate account there.)
通过表面活化局部化学镀直接制造高分辨率和高性能的柔性电子产品
Chemical Engineering Journal ( IF 15.1 ) Pub Date : 2020-11-05 , DOI: 10.1016/j.cej.2020.127644
Wanli Li , Lingying Li , Qingqing Sun , Xuying Liu , Masayuki Kanehara , Tomonobu Nakayama , Jinting Jiu , Kenji Sakamoto , Takeo Minari

在不使用减法光刻的情况下对高分辨率的多金属层进行图案化构成了巨大的挑战,但对于现代电子工业尤其是柔性电子工业的发展而言是必不可少的。在此,据报道,通用且可行的增材制造方法是通过表面活化局部化学镀(SALEP)选择性沉积高分辨率多金属图案,并能够制造3维(3D)互连和高性能有机薄膜柔性电子的薄膜晶体管(OTFT)阵列。SALEP方法包括通过通孔互连的多金属图案的直接逐层沉积,这由钯催化剂的选择性吸附和金属化过程定义。催化剂的局部吸附受真空紫外(VUV)诱导的光化学改性引起的表面润湿性和吸附性差异的影响。低温和3D方法使宽度小于1 µm的柔性电路小型化;它还可以在柔性基板上集成OTFT阵列。以多金属Cu / Ni / Au作为接触电极制成的OTFT阵列具有超过10 cm的高空穴迁移率2 V -1 s -1,证明了SALEP方法适用于低成本,高效率和可扩展的高性能柔性电子设备的制造。





"点击查看英文标题和摘要"

更新日期:2020-11-06
down
wechat
bug