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Reactive ion etching of single crystal diamond by inductively coupled plasma: State of the art and catalog of recipes
Diamond and Related Materials ( IF 2.650 ) Pub Date : 2020-04-05 , DOI: 10.1016/j.diamond.2020.107839
A. Toros; M. Kiss; T. Graziosi; S. Mi; R. Berrazouane; M. Naamoun; J. Vukajlovic; P. Gallo; N. Quack

更新日期:2020-04-20

 

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