Flat surfaces decorated with micro- and nanostructures are important tools in biomedical research used to control cellular shape, in studies of mechanotransduction, membrane mechanics, cell migration and cellular interactions with nanostructured surfaces. Existing methods to fabricate surface-bound nanostructures are typically limited either by resolution, aspect ratio or throughput. In this work, we explore electron beam lithography based structuring of the epoxy resist SU-8 on glass substrate. We focus on a systematic investigation of the process parameters and determine limits of the fabrication process, both in terms of spatial resolution, structure aspect ratio and fabrication throughput. The described approach is capable of producing high-aspect ratio, surface bound nanostructures with height ranging from 100 nm to 4000 nm and with in-plane resolution below 100 nm directly on a transparent substrate. Fabricated nanostructured surfaces can be integrated with common techniques for biomedical research, such as high numerical aperture optical microscopy. Furthermore, we show how the described approach can be used to make nanostructures with multiple heights on the same surface, something which is not readily achievable using alternative fabrication approaches. Our research paves an alternative way of manufacturing nanostructured surfaces with applications in life science research. [2019-0255]

中文翻译：

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用于细胞研究的 SU-8 聚合物结构的电子束光刻制造

用微米和纳米结构装饰的平面是生物医学研究中用于控制细胞形状的重要工具，用于研究机械转导、膜力学、细胞迁移和细胞与纳米结构表面的相互作用。制造表面结合纳米结构的现有方法通常受到分辨率、纵横比或吞吐量的限制。在这项工作中，我们探索了基于电子束光刻技术在玻璃基板上构建环氧抗蚀剂 SU-8。我们专注于对工艺参数进行系统研究，并在空间分辨率、结构纵横比和制造吞吐量方面确定制造工艺的限制。所描述的方法能够产生高纵横比，高度范围为 100 nm 至 4000 nm 且面内分辨率低于 100 nm 的表面结合纳米结构直接位于透明基板上。制造的纳米结构表面可以与生物医学研究的常用技术相结合，例如高数值孔径光学显微镜。此外，我们展示了如何使用所描述的方法在同一表面上制造具有多个高度的纳米结构，这是使用替代制造方法不容易实现的。我们的研究为制造纳米结构表面在生命科学研究中的应用铺平了道路。[2019-0255] 如高数值孔径光学显微镜。此外，我们展示了如何使用所描述的方法在同一表面上制造具有多个高度的纳米结构，这是使用替代制造方法不容易实现的。我们的研究为制造纳米结构表面在生命科学研究中的应用铺平了道路。[2019-0255] 如高数值孔径光学显微镜。此外，我们展示了如何使用所描述的方法在同一表面上制造具有多个高度的纳米结构，这是使用替代制造方法不容易实现的。我们的研究为制造纳米结构表面在生命科学研究中的应用铺平了道路。[2019-0255]