近日，课题组顺利安装了低温电子束蒸发镀膜设备。该设备可以电子束蒸发、热蒸发、等离子清洗等功能。此外，镀膜过程中可利用液氮直接冷却基底，从而可用于Pb、In等低熔点金属的高质量薄膜制备。